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  • 智能兆声波清洗技术

  • 应用于2D和3D设备

  • 彻底的晶圆级清洁

  • 温和无损伤清洗

  • 减少缺陷提高产能

SAPS兆声波清洗设备
应用于集成电路先进技术节点的平面和图形晶圆
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电镀设备
应用于双大马士革电镀工艺
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应用于PLP面板级封装 Cu, Ni, SnAg, Au 电镀
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